Perpustakaan Digital ITB

Saat ini carbon nanotube (CNT) merupakan salah satu topik nanoteknologi yang menarik di dunia penelitian karena keunikan dari sifat elektronik dan mekanik yang dimilikinya. Studi awal deposisi lapisan tipis CNT telah dilakukan dengan menumbuhan nanokatalis Perak (Ag) sebagai pemandu proses penumbuhan CNT di atas substrat gelas Corning 7059 dengan metode evaporasi. Penumbuhan dilakukan dengan waktu deposisi yang berbeda-beda yaitu selama 50 detik, 25 detik, dan 14 detik, diikuti proses annealing pada suhu 400 oC selama 4 jam. Karakterisasi morfologi nanokatalis Ag dilakukan dengan menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM) dan Energy Dispersive Analysis X-ray (EDX). Berkurangnya waktu deposisi evaporasi menyebabkan ukuran diameter nanokatalis Ag yang dihasilkan mengalami penurunan yaitu berturut-turut 65 nm, 57 nm, dan 33 nm. Begitu juga komposisi atomik Ag yang dihasilkan yaitu 6,06%, 4,52 %, dan 3,73 %. Studi selanjutnya yang telah dilakukan adalah penumbuhan lapisan tipis CNT di atas substrat nanokatalis Ag dengan metode Hot Wire Cell-Very High Frequency-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (HWC-VHF-PECVD) pada temperatur deposisi 275 oC dan tekanan 300 mTorr. Daya rf telah divariasikan dari 8 sampai 20 watt, dengan waktu deposisi selama 60 menit. Sumber karbon yang digunakan adalah gas metan (CH4) 99,999 %. Gas hidrogen (H2) digunakan untuk mengetsa lapisan oksida yang mungkin terbentuk selama proses pra-deposisi. Diameter dan panjang CNT di atas Ag/CG 7059 masing-masing 250-393 nm dan 309-376 nm, untuk sebaran partikel yang masih berbentuk bundel. Sedangkan diameter dan panjang untuk partikel yang berbentuk tube (CNT) masing-masing 125 nm dan 1,650-2,989 (mu)m. Pada daya rf 8 dan 10 watt terlihat adanya material CNT tumbuh dengan arah tegak lurus terhadap permukaan substrat dan sejajar permukaan substrat.