Teh merupakan salah satu komoditas yang diminati di Indonesia dan dapat dikonsumsi oleh seluruh kalangan individu yang memiliki banyak khasiat seperti polifenol dan antioksidan lainnya. Pengeringan daun teh dilakukan dengan metode konvensional seperti pengeringan dengan sinar matahari sehingga menjadi masalah yang berdampak pada kualitas teh hijau. Penggunaan teknologi microwave vacuum dryer diharapkan dapat memangkas waktu pengeringan serta menjaga kualitas teh hijau. Pada penelitian ini, pengeringan dilakukan menggunakan microwave yang di modifikasi dengan pemasangan pompa vakum dan sensor suhu untuk mendapatkan suhu kuantitatif dari microwave yaitu 37, 40, dan 500C. Hasil penelitian menunjukkan suhu pengeringan terbaik untuk meningkatkan kualitas teh hijau menggunakan microwave vacuum dryer adalah 370C. Pengeringan pada suhu tersebut menghasilkan kadar air sebesar 7,94±0,17% (b/b), total fenolik sebesar 27,42±0,43% (b/b), total flavonoid sebesar 43,46±3,53% (b/b), aktivitas antioksidan IC50 sebesar 34,36±1,43 (b/b), kadar katekin sebesar 11,06 ppm , dan organoleptik berdasarkan parameter kenampakan, rasa, dan aroma yang disukai konsumen dengan skor berturut-turut sebesar 3,87±0,75; 3,9±0,86; dan 3,9±0,86. Berdasarkan kandungan fitokimia yang terkandung pada ketiga variasi menunjukkan parameter terbaik pada suhu pengeringan 370C dan pada pengujian organoleptik dan kadar air menunjukkan tingkat keterimaan panelis pada suhu pengeringan 500C.