Penemuan material fungsional mendorong adanya inovasi baru dalam
pengembangan dan produksi perangkat optoelektronik. Fotodetektor menjadi salah
satu perangkat optoelektronik yang cukup menjanjikan saat ini karena
penerapannya yang cukup luas dalam bidang sistem keamanan, komunikasi serat
optik, kesehatan, maupun otomotif. Namun, peningkatan kinerja fotodetektor masih
menjadi tujuan masa depan yang dikejar oleh para peneliti. Pemilihan material dan
desain yang digunakan memiliki dampak signifikan terhadap kinerja fotodetektor.
Molibdenum disulfida (MoS2) sebagai salah satu jenis Transition Metal
Dichalcogenides (TMDs) telah menarik perhatian karena sifat dan karakteristiknya
yang mumpuni untuk aplikasi fotodetektor. Namun, laju rekombinasi yang tinggi,
terbatasnya jumlah situs aktif, dan konduktivitas listrik yang kurang baik menjadi
pertimbangan dalam penerapan MoS2 sebagai material fotodetektor. Untuk
mengatasi hal tersebut, maka dalam penelitian ini telah dilakukan modifikasi
dengan teknik doping untuk mengetahui pengaruh penambahan dopan tembaga
(Cu) terhadap sifat optik dan listrik lapisan tipis MoS2 untuk aplikasi fotodetektor.
Lapisan tipis ditumbuhkan di atas permukaan substrat n-Si (100) selama 4 jam di
bawah aliran gas argon menggunakan metode DC Unbalanced Magnetron
Sputtering. Komposisi Cu yang digunakan sebesar 5 %massa, 10 %massa, dan 15
%massa, di mana lapisan tipis MoS2 murni juga dikaji sebagai data pembanding.
Lapisan tipis dikarakterisasi menggunakan Scanning Electron Microscopy and
Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (SEM-EDX) untuk mengetahui sifat
morfologi permukaan dan komposisi unsur, X-ray Diffraction (XRD) digunakan
untuk mengetahui sifat struktur dan pembentukan cacat material. Selain itu, Raman
Spectroscopy digunakan untuk mengetahui struktur molekul dan ikatan kimia, di
mana Diffuse Reflectance UV-Vis Spectroscopy (DRS UV-Vis) dan
Photoluminescence Spectroscopy digunakan untuk mengetahui sifat optik dari
lapisan tipis yang diperoleh. Sifat listrik lapisan tipis dianalisis menggunakan
rangkaian pengujian I-V dengan bantuan portable solar simulator (PEC-L01).
Hasil analisis SEM menunjukkan perubahan morfologi dari bentuk granula menjadi
lebih padat dan seragam setelah didoping Cu. Di sisi lain, penumbuhan atom Cu berhasil dikonfirmasi dari hasil EDX, di mana komposisi Cu yang diperoleh sebesar
2,40 %massa, 7,48 %massa, dan 10,68 %massa. Hasil analisis XRD menunjukkan
pergeseran puncak difraksi ke sudut lebih kecil, ukuran kristalit meningkat, serta
regangan kisi dan kerapatan dislokasi menurun setelah didoping Cu. Hasil analisis
Raman mengkonfimasi terbentuknya struktur 2H-MoS2 multilayer, dibuktikan
dengan peningkatan nilai ????? seiring dengan peningkatan doping Cu. Selain itu,
hasil analisis UV-Vis menunjukkan penambahan doping Cu dapat memperluas
rentang penyerapan ke daerah cahaya tampak dan mempersempit celah pita MoS2
yang sangat efektif untuk performa perangkat optoelektronik. Hasil analisis PL
menunjukkan intensitas serapan meningkat seiring dengan peningkatan konsentrasi
doping Cu, dengan energi emisi mengalami blueshift setelah didoping Cu. Di sisi
lain, hasil pengujian I-V menunjukkan perubahan sifat listrik seiring penambahan
konsentrasi doping Cu. Performa lapisan tipis yang dominan diperoleh pada sampel
MoS2+Cu 5%, dengan nilai responsivitas sebesar 1,24 × 10-2 A/W, sensitivitas
sebesar 206, detektivitas sebesar 3,68 × 107
Jones, nilai SBH sebesar 0,26 eV,
photocurrent density sebesar 12,40 A/m2
dan EQE sebesar 3,86%. Mengingat
belum banyak studi yang melaporkan terkait potensi lapisan tipis MoS2 didoping
Cu yang ditumbuhkan menggunakan DC Unbalanced Magnetron Sputtering, maka
hasil penelitian ini diharapkan dapat memberikan wawasan komprehensif untuk
pengembangan kedepannya, sehingga memperluas aplikasi dari bahan MoS2 dalam
bidang optoelektronik.
Perpustakaan Digital ITB