Perpustakaan Digital ITB

Batu ginjal merupakan penyakit urologi paling umum dengan prevalensi sekitar 12% di seluruh dunia. Sebagian besar kondisi awal tidak menunjukkan gejala dan hal ini mendorong pengembangan metode deteksi dini. Kalsium dan pH berperan penting sebagai biomarker karena meregulasi pembentukan batu ginjal. Namun, urinalisis yang ada masih membutuhkan pengembangan dan extended gate-field effect transistor (EGFET) dapat menjadi alternatif metode yang potensial. Dalam penelitian ini, hafnium nitride (HfN) dideposisikan pada gelas melalui DC sputtering dengan tiga variasi persentase nitrogen berdasarkan perbedaan laju aliran: 12% N2 (HfN 12%), 20% N2 (HfN 20%), and 40% N2 (HfN 40%). HfN 12% menunjukkan persentase atom hafnium dan nitrogen tertinggi berdasarkan spektra XPS. Kekasaran permukaan dari HfN 12%, 20%, dan 40% secara berurutan adalah 0,713 nm, 0,721 nm, and 0,524 nm. HfN digunakan sebagai membran pengukuran pH dan kalsium melalui EGFET yang diukur dengan sistem sirkuit constant current constant voltage (CVCC). Nilai sensitivitas tertinggi ditunjukkan oleh HfN 12% sebesar 49,95 mV/pH (R2 99,6%) dan sampel ini mampu mempertahankan sensitivitas di atas 45 mV/pH (R2 >95%) dalam penggunaan selama 16 hari berturut-turut. HfN 12% juga menunjukkan hasil yang linier dalam deteksi kalsium dengan sensitivitas 13,33 mV/pCa (R2 99,1%). Dengan demikian, HfN 12% menunjukkan kinerja terbaik sebagai membran sensor EGFET dengan sensitivitas yang baik terhadap pH dan potensi yang menjanjikan untuk deteksi kalsium.