digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Pencemaran lingkungan merupakan salah satu permasalahan besar yang dihadapi dunia saat ini. Dari data diketahui gas CO dan SO2 merupakan penyumbang polusi terbesar yang berasal dari sektor transportasi dan pembakaran energi (selain transportasi). Gas CO dan SO2 memiliki dampak yang buruk bahkan fatal terhadap manusia. Karena sifat gas tersebut yang tidak bewarna maka akan sulit mendeteksi keberadaannya. Oleh karena itu dibutuhkan alat untuk mendeteksinya yaitu sensor gas. Sensor yang dibuat tugas akhir ini yaitu sensor dengan bahan metal oksida hybrid ZnO-CuO. Sensor gas pertama dibuat dengan menumbuhkan seed ZnO di atas substrat alumina, kemudian lapisan tipis CuO berstruktur nano ditumbuhkan diatas permukaan ZnO nanowire menggunakan metoda deposisi hydrothermal. Performansi sensor gas diukur dengan melihat selektivitas dan sensitivitas terhadap gas CO dan SO2 di berbagai temperatur pada konsentrasi 30ppm. Hasil karakterisasi SEM dan XRD menunjukan bahwa lapisan tipis hybrid ZnOCuO berstruktur nano telah berhasil dibuat. Lapisan tipis CuO tumbuh di permukaan lapisan tipis CuO. Lapisan tipis yang dibuat telah dapat digunakan sebagai sensor yang diuji pada variasi temperatur 200 0C, 250 0C, dan 3000C. Diantara ketiga suhu ini sensor bekerja paling optimal pada temperatur 200 0C dengan sensitivitas 144% untuk gas CO dan 95.8% untuk gas SO2. Dari berbagai temperatur diketahui selektivitas sensor gas CO lebih besar daripada gas SO2.