digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Gas Karbon Monoksida (CO) merupakan salah satu gas yang berbahaya dan dapat menyebabkan kematian bagi manusia pada kadar diatas 1000 ppm. Gas CO tidak dapat dideteksi oleh indera manusia karena tidak berwarna dan tidak berbau. Oleh karena itu dibutuhkan perangkat sensor gas CO. Salah satu material semikonduktor yang umum digunakan untuk aplikasi sensor gas adalah SnO2, karena sangat reaktif, mudah mengadsorpsi gas, stabil dan murah. Selain itu lapisan tipis semikonduktor terbukti efektif dibandingkang lapisan tebal maupun gumpalan. Chemical Bath Deposition (CBD) merupakan salah satu metoda pembuatan semikonduktor lapisan tipis yang yang murah, temperatur yang rendah, sederhana dan efektif. Lapisan tipis SnO2 telah berhasil dibuat dengan metode CBD menggunakan precursor stannous chloride (SnCl2.2H2O) dengan pelarut aqua bidest (H2O). Molaritas stannous chloride, perbandingan urea dengan pelarut dan waktu proses perendaman divariasikan untuk mendapatkan struktur lapisan tipis SnO2 yang terbaik untuk dijadikan sensor gas. Lapisan tipis SnO2 yang terbentuk dikarakterisasi dengan X-Ray Diffraction (XRD), Energy Dispersive Spectroscopy (EDS) dan Scanning Energy Microscope (SEM). Dari hasil karakteriasi didapatkan parameter proses yang terbaik adalah 0,15 M stannous chloride, 1:5 perbandingan urea dengan pelarut dan empat hari perendaman. Performansi sensor terhadap gas CO menunjukkan bahwa pengujian sensor gas dari lapisan tipis SnO2 ini memiliki karakteristik sensitivitas 92,05%, waktu respon 4,67 menit dan waktu pulih 5,30 menit pada 100 ppm CO dan sensitivitas 98,43%, waktu respon 4,57 menit dan waktu pulih 3,97 menit pada 200 ppm CO.