Perpustakaan Digital ITB

Aluminium zinc oxide (AZO) dengan komposisi aluminium sebanyak 2 wt.%, 3 wt.%, dan 5 wt.% melalui proses penggerusan, pemanasan, press, serta pemasan kembali sebelum ditumbuhkan pada substrat kaca dengan menggunakan teknik deposisi DC-sputtering. Lapisan tipis AZO kemudian dikarakterisasi dengan menggunakan x-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), dan spektrofotometer UV-visible. Hasil karakterisasi tersebut menunjukkan profil lapisan tipis AZO berupa ukuran kristalin, ukuran partikel, transmitansi, serta ketebalan lapisan. ...