Perpustakaan Digital ITB
Indium Zinc Oxide (IZO) merupakan salah satu material TCO yang mempunyai sifat konduktivitas tinggi dan transparansi tinggi pada daerah cahaya tampak. Digunakan berbagai variasi perbandingan massa untuk membuat target yaitu ZnO dengan In2O3 98%:2%, 95%:5%, dan 92%:8%. Kemudian ditumbuhkan dengan metode DC Sputtering pada suhu 300OC dengan waktu deposisi 2 jam. Kemudian sifat optiknya diukur dengan menggunakan alat spektrofotometer UV-Vis dan diperoleh nilai transmitansi. IZO 5% memiliki tingkat transmitansi yang paling tinggi yaitu di atas 60% pada daerah panjang gelombang 400nm sampai 1100nm . Dari data transmitansi tersebut dapat diperoleh besar energi band gap yaitu 3.580eV untuk IZO 2%, 3.570eV untuk IZO 5% dan 3.5598eV untuk IZO 8%.