Perubahan iklim, penipisan lapisan ozon, dan polusi lingkungan menjadi tantangan
global yang mendesak, memerlukan teknologi inovatif untuk mitigasi dan
pengawasan yang lebih presisi. Fotodetektor, khususnya untuk spektrum ultraviolet
(UV) dan cahaya tampak memiliki potensi besar dalam pemantauan lingkungan,
seperti deteksi radiasi UV, konsentrasi ozon, dan lainnya. Pengembangan
fotodetektor difokuskan pada peningkatan material aktif yang dapat mencapai
serapan cahaya yang lebih luas dan performa listrik yang lebih baik. Molibdenum
disulfida (MoS?), bahan dua dimensi dengan sifat unggul, dipilih sebagai material
aktif utama, sementara pencampuran dengan seng oksida (ZnO) bertujuan untuk
meningkatkan efisiensi penyerapan cahaya dan memperluas rentang spektral
deteksi. Penelitian ini menggunakan metode DC unbalanced magnetron sputtering
untuk menumbuhkan film tipis MoS?-ZnO dengan keunggulan kontrol ketebalan
lapisan, biaya rendah, dan kompatibilitas dengan substrat silikon.
Analisis struktur sampel dari citra SEM menunjukkan morfologi permukaan MoS?
murni berbentuk flake, sementara penambahan ZnO pada MoS? menghasilkan
struktur flake dengan orientasi yang lebih terkontrol dan seragam. Elemen mapping
dan EDS mengonfirmasi persebaran merata unsur Mo, S, Zn, dan O pada sampel,
menunjukkan integrasi yang baik antara ZnO dan MoS?. X-Ray Diffraction (XRD)
menunjukkan puncak-puncak sampel MoS2 dan MoS2:ZnO yang ditumbuhkan
bersesuaian dengan puncak MoS2 yaitu struktur heksagonal 2H MoS? dan fase
kristal heksagonal wurtzite dari ZnO. Analisis data XRD menunjukkan bahwa
penambahan ZnO pada MoS? menyebabkan perubahan signifikan pada sifat
struktural material. Ukuran kristalit meningkat dengan bertambahnya konsentrasi
ZnO karena penyempitan FWHM (?), mengindikasikan pengurangan regangan kisi
dan pertumbuhan kristal yang lebih besar. Selain itu, adanya pergeseran puncak
difraksi (004) ke sudut 2? yang lebih tinggi menunjukkan tekanan kisi (lattice
strain) akibat interaksi antara ZnO dan MoS?. Hal ini menyebabkan pengecilan
parameter kisi “c” dan pengurangan jarak antar bidang (d). Perubahan ini
mengonfirmasi pengaruh penambahan ZnO terhadap struktur kristal MoS?, yang
mendukung modifikasi sifat material untuk meningkatkan kinerja perangkat optoelektronik berbasis fotodetektor. Hasil spektroskopi raman MoS? murni
menunjukkan dua mode fonon khas pada 384,49 cm?¹ untuk E
1
dan 411,12 cm?¹
untuk A1g dengan selisih 26,63 cm?¹, yang mengindikasikan struktur bulk.
Penambahan ZnO (5–15%) menyebabkan red shift dan penajaman puncak, disertai
penurunan selisih frekuensi menjadi 24,87 cm?¹. Perubahan ini menunjukkan
terjadinya tensile strain, peningkatan kristalinitas, dan reduksi jumlah lapisan
menjadi few-layer.
Analisis sifat optik dari uji fotoluminesensi (PL) dilakukan untuk mengevaluasi
pengaruh penambahan ZnO terhadap sifat emisi optik MoS?. Spektrum PL
menunjukkan bahwa semua sampel MoS? dan MoS?:ZnO memancarkan emisi di
wilayah cahaya tampak (672–747 nm). Penambahan ZnO menyebabkan terjadinya
blue shift pada puncak emisi intrinsik dari 678 nm, yang mengindikasikan
peningkatan celah pita akibat interaksi kuat antara MoS? dan nanopartikel ZnO. UV
Vis menunjukkan bahwa MoS? murni memiliki absorbansi lebih tinggi di wilayah
cahaya tampak, sementara MoS2 dengan penambahan ZnO secara bertahap
menurunkan intensitas serapan di wilayah ini.
Hasil pengukuran arus foto menunjukkan bahwa penambahan campuran MoS?:ZnO
membentuk medan listrik internal yang meningkatkan pemisahan pasangan
elektron-hole, menurunkan arus gelap (Id), dan secara signifikan meningkatkan arus
foto (Ip), sensitivitas, responsivitas, detektivitas, dan efisiensi kuantum eksternal
(EQE), dengan performa terbaik dicapai pada komposisi penambahan 10% ZnO
(10-MZO).
Perpustakaan Digital ITB