Perpustakaan Digital ITB

Zinc oxide (ZnO) memiliki biaya yang murah, mudah didoping, stabilitas yang tinggi, tidak beracun, dan sifat khasnya dalam aplikasi optoelektronik dapat menggantikan Indium Tin Oxide (ITO). Pemberian doping Fe pada ZnO dapat meningkatkan kualitas kristalinitas atau memperoleh sifat optik, listrik atau feromagnetik yang lebih baik. Penelitian ini bertujuan untuk mempelajari pengaruh doping Fe terhadap sifat optik film tipis ZnO. Pada penelitian sebelumnya telah ditumbuhkan lapisan tipis Fe:ZnO diatas substrat Si (100) menggunakan metode DC-Unbalanced Magnetron Sputtering dengan kandungan Fe sebesar 0,6%; 1,2%; dan 9,1%. Untuk mengetahui efek pemberian doping maka masing-masing sampel dikarakterisasi menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM), Energy Dispersive X-ray (EDX), X-ray diffraction (XRD), Photoluminescence (PL), dan Spectroscopic Ellipsometry (SE). Karakterisasi SEM dan EDX digunakan untuk menganalisa morfologi serta komposisi atom. Sedangkan karakterisasi XRD untuk menganalisa struktur kristal. Selanjutnya dilakukan pengukuran PL dan SE. Dari hasil karakterisasi PL dapat diketahui sifat optik material yang dapat digunakan untuk mempelajari cacat yang terdapat pada kristal seperti adanya kekosongan atau substitusi. Spektrum PL memperlihatkan perubahan tingkat energi keadaan cacat titik pada film ZnO akibat dopan Fe. Kemudian hasil SE memberikan informasi mengenai sifat optik Fe:ZnO melalui parameter beda fase dan amplitudo yang didapatkan dalam pengolahan data menggunakan completeEase. Penelitian akan terfokus pada analisis pengaruh dopan Fe terhadap sifat optik Fe:ZnO. Hasil yang ditargetkan pada penelitian ini dapat berpotensi sebagai perangkat optoelektronik.