Ibadah salat tidak akan pernah terlepas dari pembahasan khusyuk, menarik untuk mengetahui faktor-faktor yang memengaruhi seseorang untuk bisa melaksanakan salat secara khusyuk beserta besar pengaruh faktor-faktor tersebut terhadap kekhusyukan salat. Kekhusyukan dalam melaksanakan salat merupakan suatu tuntutan yang dianjurkan oleh syariat. Pemodelan kekhusyukan salat penting untuk mengetahui besar pengaruh tiap faktor pada kekhusyukan salat. Pemodelan ini dapat dimodelkan dengan menggunakan metode Structural Equation Modeling (SEM) juga model analisis jalur. Analisis faktor digunakan untuk mengelompokkan faktor-faktor yang memengaruhi kekhusyukan salat berdasarkan karakteristiknya. Kelompok faktor yang terbentuk tersebut merupakan construct atau variabel laten yang tidak dapat diukur secara langsung, sehingga metode SEM dirasa mampu menyelesaikan permasalahan tersebut. Namun SEM memiliki beberapa asumsi yang harus dipenuhi dan seringkali jika menggunakan data real di lapangan asumsi-asumsi itu terlanggar, sehingga diperlukan suatu metode yang bebas asumsi, bebas distribusi (free distribution) dan fleksibel yaitu metode SEM alternatif yang berbasis varians atau sering disebut dengan Partial Least Square (PLS). PLS merupakan suatu metode estimasi yang berfokus untuk memaksimumkan varians antar variabel. Penelitian ini dilakukan untuk mengestimasi score factor pada pemodelan kekhusyukan salat menggunakan pendekatan PLS skema faktor (factor scheme). Hasil penelitian diperoleh bahwa model kekhusyukan salat dipengaruhi oleh faktor situasi, elemen, dan prasarana salat dengan R-square kekhusyukan salat sebesar 56,90 persen.