digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Lanthanum Strontium Aluminium Tantalum Oksida atau LSAT memiliki rumus kimia((LaAlO3)0;3-(Sr2AlTaO6)0;7) merupakan material perovskite oksida yang memiliki performa baik sebagai substrat penumbuhan film tipis bagi superkonduktor titik kritis tinggi karena respon dielektriknya yang rendah, kesimetriannya kubik dan konstanta kisi yang kecil. Dalam penelitian kali ini, akan diamati efek hydrogen plasma treatment (HPT)terhadap sifat optik, morfologi, struktur dan ikatan dari material LSAT. LSAT diberikan paparan plasma hidrogen secara terkontrol pada suhu ruang selama 10 menit. Pengamatan mengenai pengaruh plasma hidrogen terhadap sifat optik pada material LSAT diamati dengan spektroskopi elipsometri (SE) yang memanfaatkan perubahan polarisasi cahaya untuk mengetahui sifat optik dari suatu material. Dalam pengukuran SE transmisi optik akan diukur dalam rentang 1-6.4 ev. Berdasarkan pengamatan menggunakan X-Ray Diffraction, material LSAT memiliki struktur kubik dengan konstanta kisi sebesar a = 3.89244 (simbol)A. Dari hasil karakterisasi AFM, ketidakrataan permukaan LSAT berkurang setelah diberikan hidrogen plasma. Dari karakterisasi FTIR dan Raman diamati hilangnya ikatan Al-O dan munculnya broad Al-OH dan O-H. Dari hasil karakterisasi sifat optik, ditemukan penurunan celah pita energy LSAT dari 5 eV menjadi 4,85 eV. Selain itu diamati bahwa paparan plasma hidrogen dapat meningkatkan konduktivitas optik, konsentrasi pembawa muatan efektif, dan koefisien absorpsi pada material LSAT akibat proses reduksi oksigen yang berakibat adanya vakansi oksigen pada material LSAT yang membebaskan dua buah electron dan meningkatkan pembawa muatan efektif material LSAT.