digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Photoluminescence merupakan teknik karakterisasi optik pada sebuah material semikonduktor untuk memberikan informasi mengenai pita energi dan juga sifat material tersebut. Eksperimen Photoluminescence ini mencakup dari studi pustaka mengenai proses luminesens pada material semikonduktor, setup sistem alat eksperimen, serta pengolahan dan analisis data hasil eksperimen. Setup sistem Photoluminescence dimulai dengan mengatur seluruh sistem hingga menemukan rangkaian yang sesuai dan presisi. Sistem Photoluminescence yang telah dirangkai diuji kelayakannya dengan menggunakan lampu Merkuri (Hg), hingga didapat spektrum lampu yang sesuai dengan referensi. Sumber cahaya pada setup yang sudah teruji diganti dengan sampel InxGa1-xN yang ditumbuhkan dengan metode PA-MOCVD, dan dieksitasi dengan menggunakan laser hijau 532nm. Dari hasil pengukuran InxGa1-xN dengan konsentrasi In 10%, 20%, dan 40%, ditemukan spektrum pada daerah kuning (~570nm), yang menunjukkan adanya cacat pada ketiga sampel di atas. Namun, dibutuhkan laser pengeksitasi dengan energi yang lebih tinggi untuk mendapatkan seluruh spektra yang utuh dari sampel InxGa1-xN yang memiliki nilai pita energi 0,7~3,4eV sesuai referensi.