Perpustakaan Digital ITB

Scanning Electron Microscope (SEM) merupakan instrumen yang dapat digunakan untuk melihat permukaan objek pada skala nanometer. Degradasi citra merupakan salah satu masalah dalam mengamati dan mengkuantifikasi detail struktur objek berdasarkan citra SEM. Penanganan instrumen SEM secara perangkat keras untuk memperbaiki degradasi kualitas citra membutuhkan biaya besar. Sehingga dikembangkan metode komputasi pencitraan dalam mengatasi permasalahan penurunan kualitas citra. Salah satu metode restorasi citra yang dapat digunakan adalah metode dekonvolusi citra. Tetapi untuk melakukan hal tersebut diperlukan Point Spread Function (PSF) dari instrumen SEM. Pada penelitian ini telah dibuat metode estimasi PSF untuk SEM Hitachi SU3500 yang terletak di PPNN ITB. Citra simulasi dan citra SEM sampel acuan digunakan dalam pengolahan komputasi citra. Citra tersebut diolah menggunakan metode denoising dan regresi nonlinier untuk mengestimasi PSF. PSF estimasi dievaluasi secara kuantitatif menggunakan perhitungan mean squared error (MSE) dengan menormalisasinya lalu membandingkannya dengan PSF simulasi. PSF estimasi juga dievaluasi secara kualitatif menggunakan filter Wiener dan dekonvolusi Richardson-Lucy untuk mengurangi efek blur pada citra SEM. Dari hasil evaluasi metode estimasi PSF pada citra simulasi secara kuantitatif didapatkan nilai MSE sebesar 6,349 × 10-3. Hal ini menunjukkan metode yang diusulkan untuk menghasilkan PSF estimasi cukup akurat dan dapat diaplikasikan pada citra SEM. Hasil evaluasi metode pada citra SEM secara kualitatif menunjukkan bahwa dekonvolusi citra berhasil mengurangi efek blur. Hasil ini menunjukkan metode yang digunakan mampu mengestimasi PSF SEM Hitachi SU3500 yang dapat digunakan untuk perbaikan kualitas citra.