digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Telah dilakukan deposisi film tipis ferroelektrik Bao.3Sr077TiO3 di atas substrat Pt/SiO2/Si dan Si pada temperatur deposisi 650 °C, 675 °C dan 700 °C dengan metode pulse laser deposition. Preparasi target ferroelektrik Ba03Sr07TiO3 dimulai dari campuran BaCO3, SrCO3 dan TiO2 dengan reaksi padatan, kalsinasi pads temperatur 1100 °C selama 2 jam dan disintering pada temperatur 1350 °C selama 4 jam. In-situ dan ex-situ annealing film tipis ferroelektrik Ba 03Sr0.7TiO3 dalam lingkungan oksigen dilakukan pads temperatur 700 °C selama 30 menit dan 850 °C selama 5 jam. Karakterisasi film tipis ferroelektrik Ba03Sr07TiO3 meliputi karakterisasi difraksi sinar X, Scanning Electron Microscopy (SEM) , histeresis dan kapasitansi-tegangan. Hasil karakterisasi difraksi sinar X menunjukan bahwa kualitas film tipis ferroelektrik Ba0.3Sr07TiO3 semakin balk dengan kenaikan temperatur deposisi. Hal ini diindikasikan oleh meningkatnya intensitas puncak pads orientasi bidang (200), munculnya puncak bare dan menummmya nilai FWHM. Karakterisasi histeresis dan kapasitansitegangan menghasilkan nilai maksimum polarisasi remanen (Pr), medan koersif (Ec), konstanta dielektrik (sr) dan kapasitansi berturut-turut sebesar 0,806 iu /cm2, 137,909 kV/cm, 70 dan 25,5 pF diperoleh path temperatur deposisi 700 °C.