Perpustakaan Digital ITB

Struktur nano seperti nanorod pada zinc oxide telah banyak diteliti karena memiliki sifat yang baik ketika dipakai sebagai sensor gas. Salah satu metode pendeposisian untuk mendapatkan struktur nanorod adalah dengan membuat seed pada lapisan pertama kemudian menumbuhkan nanorod pada lapisan kedua. Pada tugas akhir ini, seed dibuat dengan metode spray pyrolysis, sedangkan struktur nanorod dibuat dengan teknik CBD dengan bantuan HMTA. Pengaruh seed, dan lama pertumbuhan dijadikan parameter pada proses spray pyrolysis dan CBD ini. Sedangkan lama waktu spray dan waktu perendaman pada proses Chemical Bath Deposition dibuat tetap. Sampel yang telah dibuat kemudian dianalisis morfologi permukaann, kandungan unsur, dan fasanya. Analisis morfologi permukaan menggunakan SEM, kandungan unsur menggunakan EDS dan fasa yang terbentuk menggunakan XRD. Waktu penumbuhan seed dan perendaman pada proses kedua berpengaruh pada kerapatan rods dan diameter rod. Dari hasil SEM, spray 10 menit dan CBD 3 jam menunjukkan pertumbuhan nanorod yang optimal yaitu dengan kerapatan yang tinggi dan diameter yang terkecil yaitu 130 - 150 nm. Perubahan waktu perendaman pada CBD menunjukkan perubahan diameter yang semakin besar berbanding lurus dengan lamanya perendaman. Sementara itu, penggunaan katalis HMTA berpengaruh pada struktur nanorod yang terbentuk.