digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-COVER.pdf

File tidak tersedia

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-BAB 1.pdf
File tidak tersedia

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-BAB 2.pdf
File tidak tersedia

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-BAB 3.pdf
File tidak tersedia

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-BAB 4.pdf
File tidak tersedia

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-BAB 5.pdf
File tidak tersedia

2009 TS PP YUDHA ARMAN 1-PUSTAKA.pdf
File tidak tersedia

Beberapa penelitian telah dibuat sebelumnya untuk membuat simulasi aliran fluida dalam skala mikro pada kondisi terisolasi. Dalam skala ini, persamaan Navier-Stokes untuk fluida kontinyu mulai tidak berlaku karena ukuran penampang aliran mulai mendekati jarak bebas rata-rata dari molekul. Perbedaan yang besar jika dibandingkan dengan skala makro adalah adanya manifestasi keberadaan pengaruh slip pada kontak antara dinding dan fluida.Telah dibuat simulasi aliran fluida di dalam sistem Microelectromechanical menggunakan lattice Boltzmann equation. Geometri penampang fluida berupa tabung silinder dengan penghalang bola, yang secara fisis dapat merepresentasikan geometri sebuah sistem spinning rotor vaccum gauge. Profil aliran fluida masukan berupa profil aliran fluida dengan tekanan yang berosilasi terhadap waktu. Simulasi dibuat pada bilangan Knudsen 0.01 hingga 0.1 dengan asumsi bilangan Mach < 0.3. Fluida diasumsikan inviscid, Newtonian dan tak mampu mampat. Digunakan koefisien tangential momentum accomodation 0.7 untuk setiap simulasi yang di buat.Dari simulasi diketahui bahwa efek slip pada frekuensi rendah dari gradien tekanan meningkatkan amplitudo profil kecepatan, namun pada frekuensi osilasi tinggi amplitudo profil kecepatan teratenuasi sehingga frekuensi osilasi berbanding terbalik dengan profil kecepatan sesaat aliran fluida pada permasalahan ini. Bilangan Knudsen berbanding terbalik terhadap amplitudo profil kecepatan sesaat aliran fluida untuk profil input King. Rasio antara diameter penghalang dengan diameter penampang berbanding terbalik terhadap amplitudo kecepatan sesaat di permukaan penghalang, namun berbanding lurus terhadap amplitudo profil kecepatan sesaat aliran fluida pada bagian belakang penghalang. Amplitudo kecepatan sesaat yang diperoleh akan menuju profil kecepatan sesaat aliran fluida pada profil input.