Perpustakaan Digital ITB

Penelitian ini membahas desain dan pembuatan sensor kelembaban relatif dengan Polyvinyl Alcohol (PVA) sebagai sensing layer menggunakan teknologi thick film. Desain dioptimalkan untuk menghasilkan geometri yang ideal sesuai dengan batasan teknologi thick film. Proses fabrikasi sensor menggunakan teknik screen printing pada substrat Alumina (Al2O3) dengan Perak (Ag) sebagai bahan untuk jalur konduktornya. Deposisi PVA sebagai sensing layer dilakukan dengan metode spin coating. Pengujian sensor hasil fabrikasi dilakukan dengan memvariasikan 5 titik kelembaban di dalam chamber dengan hygrometer sebagai referensi. Berdasarkan hasil pengujian diketahui bahwa sensor menunjukkan respon terhadap kelembaban dalam bentuk nilai resistansi, jika kelembaban di dalam chamber meningkat, pembacaan nilai resistansi sensor akan berkurang. Dilakukan variasi penambahan komposisi SnO2 pada sensing layer sebesar 1:1 dan 1:2. Penambahan SnO2 pada PVA dapat menurunkan pembacaan nilai resistansi, menurunkan sensitifitas dan dapat menaikkan respon sensor perubahan kelembaban. Dari hasil FTIR menunjukkan penambahan APS dan SnO2 tidak mempengaruhi struktur PVA, ini menandakan bahwa tidak terjadi reaksi kimia antara PVA, APS dan SnO2. Nilai resistansi sensor kelembaban berbasis PVA yang relatif tinggi dapat dikurangi dengan mencampurkan PVA dengan oksida logam dalam penelitian ini menggunakan SnO2.