ALOS-2/PALSAR-2 merupakan suatu satelit SAR yang dapat digunakan untuk pengamatan deformasi. Gelombang L-band yang dipancarkan mampu menembus awan dan vegetasi dengan baik hingga mencapai topografi bumi sehingga tepat dimanfaatkan untuk pengamatan deformasi dengan metode InSAR. Salah satu teknologi akuisisi data ALOS-2/PALSAR-2 yaitu ScanSAR memberi kemungkinan untuk pengamatan deformasi dalam cakupan wilayah yang sangat luas (dalam penelitian ini yaitu Jawa Tengah dan sekitarnya). Pengamatan deformasi di wilayah Jawa Tengah perlu dilakukan, mengingat sudah terjadinya deformasi di sebagian Pesisir Utara Jawa Tengah. Pekalongan mengalami deformasi sebesar 7 – 10 cm per tahun, dan Semarang sebesar 7 – 13 cm per tahun [Chaussard dkk, 2012].Penelitian ini menggunakan data mulai tanggal 30 Maret 2015 hingga 21 November 2016 sebanyak 12 waktu pengamatan. Berdasarkan hasil yang diperoleh pada penelitian ini, terdapat 7 (tujuh) daerah yang diamati mengalami deformasi. Dari ketujuh daerah tersebut, hanya daerah Gunung Kidul yang mengalami deformasi bernilai positif dari arah pandang satelit. Adapun besarnya deformation rate di daerah tersebut adalah 111 mm/tahun. Masing-masing keenam daerah lainnya yaitu: Cilacap dengan besar deformation rate sebesar -70 mm/tahun, Pekalongan sebesar -74 mm/tahun, Semarang sebesar -120 mm/tahun, Demak sebesar -131 mm/tahun, jalur perlintasan Purwodadi – Blora sebesar -124 mm/tahun, dan Lasem sebesar -83 mm/tahun dari arah pandang satelit.