Keberadaan gunungapi akibat proses subduksi di Pulau Jawa menyebabkan Indonesia mempunyai potensi panas bumi yang tinggi, salah satunya di lapangan panas bumi ΓβΓβANΓβΓβ. Gempa-gempa mikro yang timbul akibat proses injeksi dan produksi di daerah lapangan panas bumi dapat digunakan untuk mengetahui karakter reservoir di lapangan panas bumi. Penelitian tentang tomografi kecepatan 3-D dan analisis anisotropi menggunakan data gempa mikro telah berhasil dilakukan sebelumnya pada lapangan panas bumi ΓβΓβANΓβΓβ. Namun beberapa sifat fisik penting batuan mempunyai efek yang relatif lebih besar dalam atenuasi dibandingkan pada kecepatan. Oleh karena itu, pada penelitian ini dilakukan inversi tomografi atenuasi (1/Q). Data yang digunakan dalam penelitian ini sebanyak 755 gempa mikro dengan jumlah fasa S dan P masing-masing 4526 fasa. Data yang dibutuhkan untuk inversi tomografi atenuasi adalah operator atenuasi t* dan model kecepatan 3-D yang didapatkan dari penelitian sebelumnya. Operator atenuasi ditentukan menggunakan metoda spectral fitting. Data t* gelombang P yang didapatkan sebanyak 2936 data dari 579 gempa mikro sedangkan untuk gelombang S didapatkan data t* sebanyak 2931 data dari 507 gempa mikro. Anomali Qp/Qs tinggi yang bersesuaian dengan anomali Vp/Vs tinggi di sekitar Gunung Gambung dan Gunung Bedil diinterpretasikan sebagai fully saturated brine pada kedalaman lebih dari 0 km. Anomali Qp/Qs rendah yang bersesuaian dengan anomali Vp/Vs rendah yang berada pada kedalaman yang lebih dangkal (0 km hingga -1 km) diinterpretasikan sebagai partial saturated dominated steam. Terdapat kesesuaian anomali Qp/Qs tinggi dengan kelurusan berdasarkan citra landsat yang mungkin berhubungan dengan struktur yang membatasi zona dengan permeabilitas tinggi dan zona permeabilitas rendah diantara Gunung Gambung dan Gunung Bedil.