digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Transparent conducting oxide (TCO) dengan transmisi yang tinggi dan hambatan listrik yang rendah merupakan material yang berperan penting dalam aplikasi optoelektronik serta perangkat display. Salah satu parameter penting dalam pembentukan lapisan film tipis TCO yang baik adalah suhu pada proses sintesisnya. .......