digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

Kebutuhan akan bahan bakar minyak dan gas di Indonesia tiap hari semakin bertambah. Pembakaran minyak bumi, gas dan batubara merupakan sumber penghasil gas SO2. Gas SO2 memiliki sifat tidak berwarna dan berbau tajam sehingga dapat mempengaruhi sistem pernapasan. Gas SO2 juga dapat menyebabkan rusaknya lingkungan. Ketika gas SO2 bereaksi dengan air akan menghasilkan asam sulfat, yang merupakan komponen hujan asam. Sehingga diperlukan sensor gas untuk mendeteksi gas SO2. Sensor gas yang saat ini dikembangkan menggunakan lapisan oksida logam seperti ZnO. Pembuatan ZnO sebagai sensor gas SO2 menggunakan metode Chemical Bath Deposition dipilih karena sederhana, murah, memerlukan temperatur yang rendah dan akurat. Lapisan tipis zinc oxide dengan morfologi flowerlike telah berhasil dibuat diatas substrat alumina dengan metode chemical bath deposition. Lapisan tipis zinc oxide telah diuji dengan dipaparkan gas SO2 dan mampu mengukur perubahan konsentrasi gas SO2. Lapisan tipis zinc oxide memiliki sensitivitas terbesar pada temperatur 300 oC yaitu 99,74% , tetapi pada temperatur 200 oC pun sudah bisa digunakan sebagai sensor gas dengan sensitivitas sebesar 94,15%. Semakin tinggi konsentrasi SO2 nilai sensitivitas juga semakin besar. Pada saat dipaparkan gas SO2 50 ppm, waktu respon tercepat yaitu 2 menit pada temperatur 300 oC dan waktu pulih tercepat yaitu 10 menit pada temperatur 200 oC.