digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

STUDI STRUKTUR KRISTAL FILM TIPIS PBZR0,625TI0,375O3 YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODA DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING

Penulis : Ngurah Ayu Ketut Umiati (20298018)
Kontributor / Dosen Pembimbing :
  • Pembimbing : Maman Budiman, Ph. D. Scan :Neneng (2007-05-140
Jenis Koleksi : Tesis
Tahun Terbit :
Penerbit :
Fakultas :
Subjek :
Kata Kunci :

Sumber :
Staf Input/Edit :   Irwan Sofiyan
File : 1 file
Tanggal Input : 14 Mei 2007

2001 TS PP NGURAH AYU KETUT UMIATI.pdf

Abstrak: Bahan ferroelektrik mempunyai kegunaan yang sangat luas, antara lain sebagai mikroaktuator (dari sifat piezoelektriknya), sebagai kapasitor untuk DRAM (Dynamic Random Access Memory) (dari sifat permitivitas dan polarisabilitas yang tinggi), dan untuk sensor infra merah (dari sifat pyroelektrik). Salah satu bahan ferroelektrik tersebut adalah PbZr

Artikel Terkait