Perpustakaan Digital ITB

Molybdenum disulfida (MoS2), material dua dimensi mirip graphene yang telah menarik perhatian peneliti karena strukturnya yang unik dan sifat lainnya yang menarik. MoS2 yang tergolong ke dalam material Transition Metal Dichalcogenides (TMDC) telah berhasil ditumbuhkan oleh penelitian yang ada sebelumnya dengan berbagai metode penumbuhan, diantaranya eksfoliasi mekanik, CVD, PLD, dan sputtering. Pada penelitian ini telah berhasil ditumbuhkan MoS2 dengan metode dc unbalanced magnetron sputtering. Sifat struktur dan morfologi permukaan dari MoS2 dipelajari dari analisis hasil karakterisasi dengan menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM) dan X-ray Powder Diffraction (XRD), serta dipelajari ikatan pada molekulnya melalui spektroskopi Fourier Transform Infrared (FTIR) dan ketebalannya melalu spektroskopi Raman. Lebih lanjut lagi, dipelajari pengaruh annealing terhadap struktur sampel MoS2 yang berhasil ditumbuhkan. SEM menunjukkan bahwa MoS2 tumbuh berbentuk flake dan tidak merata. Dengan meningkatnya temperatur annealing ukuran kristalnya semakin kecil dari 42,62 nm ke 38,87 nm . Dari XRD menunjukkan bahwa orientasi dominan berada pada sumbu c (004). Dari FTIR tidak ditemukan puncak ikatan molekul MoS2 dikarenakan rentang energi vibrasi yang terbatas pada 500-4000 cm-1. Berdasarkan hasil Raman hanya di beberapa spot ditemukan vibrasi ikatan MoS2 karena penumbuhannya tidak merata. Setelah annealing mode vibrasi E12g mengalami blueshift, sementara mode vibrasi A1g mengalami redshift. Pergeseran ini menunjukkan perubahan jumlah lapisan MoS2 dari banyak lapisan ke 5-6 lapis. Penelitian ini menunjukkan dapat dihasilkannya MoS2 dengan metode DC Unbalanced Sputtering serta perubahan sifat strukturnya terhadap perlakuan annealing.