Hybrid Organic Inorganic Materials (HOIM) secara luas telah dipelajari. Hal ini dikarenakan kemudahannya untuk disintesis dengan menggunakan metode sol-gel. HOIM merupakan campuran antara material organik dan material inorganik pada tingkat molekular yang sifat-sifatnya tergantung dari kedua material organik dan inorganiknya. Hybrid film dan gel powder SiO2-TiO2-PDMS termasuk ke dalam jenis Organically Modified Silicates (Ormosils) yang merupakan jenis baru dalam HOIM. Pada penelitian tugas akhir ini, hybrid film SiO2-TiO2-PDMS dibuat dengan metode sol-gel dip coating, sedangkan gel powder SiO2-TiO2-PDMS dibuat dengan metode sol-gel. Prekursor yang digunakan adalah tetraethoxy silane (TEOS) dan titanium isopropoxide Ti(OiPr). Perbandingan molar antara SiO2 dengan TiO2 yang digunakan adalah 0,07 : 0,03 dan persen berat (% wt) PDMS terhadap TEOS yang digunakan adalah 5% wt dan 10% wt. Variasi persen berat (% wt) PDMS terhadap TEOS bertujuan untuk mengetahui sifat-sifat yang diperoleh pada hybrid film SiO2-TiO2-PDMS sedangkan variasi temperatur pada proses perlakuan panas bertujuan untuk mengetahui fasa-fasa yang terbentuk. Hasil SEM menunjukkan hybrid film SiO2-TiO2-PDMS dengan struktur berpori terjadi pada 10% wt PDMS terhadap TEOS. Hasil XRD pada hybrid film SiO2-TiO2-PDMS menunjukkan fasa amorf , sedangkan hasil XRD pada gel powder SiO2-TiO2-PDMS menunjukkan fasa kristalin TiO2, yaitu anatase dan rutile.