Perpustakaan Digital ITB

Abstrak: Kemampuan pengindraan visual menjadi hal yang penting untuk pengambilan keputusan. Namun keterbatasan alat indra yang dimiliki manusia mendorong munculnya teknologi pengindra yang dapat mengatasi keterbatasn-keterbatasan tersebut. Pencitraan melalui panas atau temperatur menjadi hal yang penting sebagai dasar pengambilan keputusan untuk keadaan yang tidak dapat diindra dengan penglihatan langsung, misalnya dalam keadaan kurangnya intensitas cahaya atau daerah pengamatan yang berbahaya. Bolometer adalah sensor infra merah yang saat ini banyak digunakan dalam banyak aplikasi publik maupun militer dan salah satunya digunakan sebagai detektor pada kamera pencitra panas. Pada tugas akhir kali ini akan dirancang dan disimulasikan struktur Bolometer menggunakan simulator CoventorWare . Struktur Bolometer akan dibangun menggunakan teknologi surface micromachining yang merupakan salah satu bagian dari teknologi Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). Teknologi ini memungkinkan dibentuknya struktur Bolometer yang mengambang di atas subtrat Silikon sehingga memiliki sensitifitas yang tinggi terhdap radiasi gelombang infra merah.