Perpustakaan Digital ITB

Zinc oxide (ZnO) sangat cocok untuk aplikasi optoelektronik, seperti fotodetektor UV, sel surya, laser, sensor gas, dan LED karena memiliki sifat fisis dan kimiawi yang unik, seperti stabilitas kimiawi tinggi, koefisien kopel elektrokimia tinggi, jangkauan luas pada absorpsi radiasi, dan fotostabilitas tinggi. Material ZnO dengan empat variasi pemberian doping Fe (Iron) telah ditumbuhkan diatas substrat silikon dan quartz menggunakan DC-Unbalanced Magnetron Sputtering. Selanjutnya agar dapat mengetahui efek dari doping, maka dilakukan karakterisasi Xray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX), I-V, UV-Visible spectroscopy (UV-Vis) dan spectroscopic ellipsometry (SE). Pada pengukuran I-V dilakukan dengan menggunakan logam Ag sebagai kontak metal. Setiap variasi sampel dilakukan pengukuran untuk konfigurasi metal-semiconductor-metal (MSM). Adapun variasi kondisi gelap dan terang diterapkan pada saat pengukuran berlangsung, hal ini dilakukan agar memperoleh kurva responsitivitas material terhadap cahaya. Selain itu, pada pengukuran UV-Vis dilakukan dengan menggunakan radiasi UV dan radiasi tampak. Penggunaan radiasi tersebut agar dapat memperoleh kurva transmitansi, reflektansi, dan absorbansi dari suatu material. Pada penelitian ini melakukan variasi pemberian doping pada ZnO agar dapat meningkatkan jumlah pembawa muatan dan konduktivitas lapisan material. Akan tetapi, efisiensi suatu dopan juga bergantung pada keelektronegatifan, jari-jari dopan ionik, dan jari-jari zinc ionik. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa material Fe:ZnO dengan variasi konsentrasi doping Fe optimum memiliki sifat listrik, sifat optik, serta kristalinitas yang lebih baik dibandingkan material ZnO murni.