digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

2000 IMAM SUMPONO
PUBLIC Open In Flip Book Alice Diniarti

Telah berhasil disintesis bulk superkonduktor NdBa2Cu3O2.a dengan reaksi padatan dan ditumbuhkan film tipis superkonduktor NdBa2 Cu3O2_6 di atas substrat MgO(100) dengan metode on-axis dc unbalanced magnetron sputtering. Sampel dikarakterisasi dengan XRD, SEMEDAX dan pengukuran Tc. Bulk-1 disintesis dengan perlakuan kalsinasi serbuk 920°C selama 48 jam, sintering 1000°C selama 48 jam dan annealing 500°C selama 10 jam. Sedangkan bulk-2 dengan perlakuan kalsinasi serbuk 920°C selama 36 jam, sintering 1000°C selama 36 jam dan annealing 500°C selama 30 jam. Bulk-1 dan bulk-2 memiliki T~ masing-masing 80,00 K dan 88,90 K. Target basil sintesis digunakan untuk deposisi film tipis superkonduktor NdBa2Cu3O2.s / MgO(100). Film-1 dan film-2 dideposisi dengan satu parameter yang berbeda yaitu daya plasma masing-masing 46 W dan 57 W dan parameter lainya sama ; Ar : 02 = 120 sccm : 20 sccm dan temperatur substrat 700 °C . Laju deposisi untuk daya plasma 46 W dan 57 W masing - masing adalah 20,07 A / menit dan 45,99A / menit. Daya plasma yang relatif besar menyebabkan kualitas film tipis yang kurang baik diindikasikan oleh spektrum XRD, struktur mikro basil SEM, dan Tc yang lebih kecil. Film-1 dan film-2 memiliki temperatur kritis masing-masing 95,19 K dan 91,61 K .