Perpustakaan Digital ITB

Pemberian suatu doping terhadap ZnO berpengaruh pada morfologi dan kristalinitas pada hasil campuran tersebut. Parameter tersebut berkaitan dengan konstanta kisi pada struktur kristal ZnO. Konstanta kisi adalah jarak tertentu antar atom penyusun kristal. Dalam Tugas Akhir 2 ini, akan dicari hubungan antara persentase campuran dengan nilai konstanta kisi. Doping yang digunakan adalah Al2O3, dan In2O3. Pada eksperimen sebelumnya (Tugas Akhir 1) telah dilakukan suatu deposisi lapisan tipis menggunakan sputtering dengan target ZnO murni dan substrat gelas kaca. Namun setelah dilakukan karakterisasi, ternyata pada gelas kaca tersebut tidak tumbuh lapisan ZnO. Kemungkinan penyebab yang terjadi adalah preparasi substrat yang kurang cocok dengan deposisi sputtering. Untuk eksperimen kali ini bertujuan sebagai studi awal pembuatan target untuk TCO (transparent conducting oxides) yang terbuat dari bahan campuran ZnO dengan Al2O3, dan In2O3.