Perpustakaan Digital ITB

Kerugian akibat kegagalan produksi pada industri semikonduktor yang disebabkan oleh ketidaksesuaian ketebalan lapisan tipis photoresist di atas permukaan wafer merupakan latar belakang dibuatnya sistem pengukuran lapisan tipis ini. Sistem ini menggunakan algoritma Rotating-Analyzer Ellipsometry (RAE). Mikrokontroler ESP32 akan membaca sinyal intensitas berupa tegangan output dari detektor untuk diolah secara digital hingga menghasilkan nilai ketebalan dari sample yang diukur. Sinyal tersebut merupakan sinyal sinusoidal sebagai fungsi dari sudut analisator. Sistem ini dapat melakukan pengukuran dengan sangat cepat karena hanya membutuhkan data intensitas dari 1 optical cycle atau ½ rotasi mekanik analisator (A = 0° hingga A = 180°). Sinyal intensitas dari satu optical cycle tersebut akan digunakan untuk menghitung parameter ellipsometri (? dan ?). Dengan mengetahui nilai ? dan ?, maka nilai ketebalan sampel juga dapat ditentukan.