Perpustakaan Digital ITB

Lapisan Zinc Oksida (ZnO) adalah semikonduktor tipe-n yang transparan pada cahaya tampak, berguna sebagai konduktor transparan pada divais elektronik dan sensor. Pada tugas akhir ini dilakukan deposisi lapisan ZnO pada substrat kaca termodifikasi dengan lapisan benih ZnO menggunakan metoda spin coating dan Chemical Bath Deposition (CBD). Prekursor lapisan benih ZnO dari Zinc Asetat, sedangkan prekursor CBD dari campuran Zinc Nitrat dan Hexamethyltetraamin (HMTA). Deposisi lapisan tipis ZnO divariasi dari substrat tanpa modifikasi dan modifikasi lapisan benih ZnO. Lapisan tipis ZnO dikarakterisasi menggunakan difraksi sinar-X, UV-Vis Spectrofotometer, dan Scanning Electron Mikroskop (SEM). Diperoleh sifat optik transmitansi maksimum 27% pada lapisan tipis ZnO pada substrat kaca tanpa modifikasi, dan transmitansi menurun seiring dengan bertambahnya lapisan benih ZnO pada substrat kaca. Diperoleh bandgap sebesar 4.10eV pada lapisan tipis ZnO pada substrat kaca tanpa modifikasi dan bandgap menurun seiring dengan bertambahnya lapisan benih ZnO pada substrat kaca. Semua sampel lapisan tipis ZnO memiliki pola difraksi sinar-X yang sama. Untuk lapisan tipis ZnO dideposisi pada substrat tanpa modifikasi memiliki difraksi terkuat pada bidang (101), sedangkan lapisan tipis ZnO pada substrat termodifikasi lapisan benih ZnO mempunyai difraksi terkuat pada bidang (100). Lapisan tipis ZnO yang tumbuh pada permukaan substrat termodifikasi berupa batang mikro dan nano, dengan ukuran diameter batang mikro sebesar 2 ?m dan batang nano sebesar 100 nm. Batang mikro terbentuk di atas batang nano berukuran sama dengan batang mikro ZnO yang tumbuh pada substrat tanpa modifikasi. Pertumbuhan batang mikro ZnO pada substrat tanpa modifikasi dan termodifikasi didorong oleh pertumbuhan tiga dimensi. Sedangkan pertumbuhan batang nano ZnO pada substrat didorong oleh pertumbuhan dua dimensi mengikuti struktur benih ZnO pada substrat.