digilib@itb.ac.id +62 812 2508 8800

TCL (Transparent Conducting Layer) atau seirng disebut elektroda transparan merupakan slah satu komponen terpenting dalam divais optoelektronik. Telah ditumbuhkan material few layer graphene diatas katalis perak serta nikel untuk aplikasi TCL sel surya. Film katalis di metalisasi pada evaporator tekanan rendah dan di annealing pada furncae selama 30 menit. Graphene ditumbuhkan dengan metode HWC-VHF-PECVD dengan kondisi temperatur substrat 3000C, tekanan 300 mTorr, daya 15 Watt, laju alir gas Metana 20 sscm, selama 30 menit. Hasil karakterisasi Uv- Vis mengahsilkan graphene dengan katalis nikel lebih transparan dibanding katalis perak. Untuk graphene dengan katalis perak terdapat puncak transmittan pada panjang gelombang 320 nm, hal tersebut memungkinkan material tersebut menjadi sensor optik sebagai bandgap filter. Untuk graphene dengan katalis perak Memiliki puncak G di 1556 cm-1 sampai 1587 cm-1 bergantung lokasi yang berbeda-beda. Graphene yang terbentukberupa pita-pita kurang homogen. Dari beberapa lokasi pita tampak muncul puncak 2D di sekitaran ~ 2850 cm-1 . Sedangkan Graphene dengan katalis nikel Memiliki puncak D sekitar bilangan ~1320 cm-1 dan Pucak G sekitar bilangan ~1586 cm-1. Muncul juga puncak 2D ditempat tertentu pada bilangan ~ 2630 cm-1. Sel surya ditumbuhkan dengan metode VHF-PECVD dimana untuk lapisan intrinsik digunakan gas Silan (SiH4) sebagai prekusor, lapisan-p dengan penambahan doping B2H6 dan lapisan-n dihasilkan dengan penambahan gas PH3. Karakteristik I-V diukur oleh elkahfi dan Simulator Sel surya.