Perpustakaan Digital ITB

Geophone merupakan salah satu instrumen yang sangat penting dalam pengukuran dengan metode seismik. Salah satu masalah yang biasa dialami geophone konvensional muncul dari penggunaan pegas. Seiring berjalannya waktu nilai konstanta k pada pegas akan berubah akibat pembebanan mekanis. MEMS (Microelectro Mechanical System) merupakan sebuah sensor mekanik yang dikemas ke dalam bentuk IC (Integrated Circuit). Biasanya MEMS terbuat dari silikon dan dibuat dengan ukuran yang kecil (micro). Baik geophone dan MEMS akselerometer memiliki komponen pegas didalamnya. Akan tetapi pada MEMS displacement atau perpindahan sangat kecil yakni dalam orde nanometer, sementara pada koil geophone dapat mencapai 2 mm. Akibat displacement yang kecil pembebanan mekanis tidak menjadi masalah dalam MEMS akselerometer. Hasil test menunjukan MEMS akselerometer mampu mendeteksi getaran dengan frekuensi kerja seismik (5-100 Hz) dengan baik. Selain itu uji lapangan menunjukan sensor MEMS akselerometer dapat mendeteksi gelombang seismik yang merambat akibat pukulan palu ke tanah.