Penelitian ini menganalisis karakteristik dan mekanisme gempa bumi dalam di zona subduksi Jawa menggunakan data katalog dan waveform gempa dari BMKG periode 2010-2020 (7898 gempa). Data katalog gempa bumi dikontrol kualitasnya berdasarkan jumlah fase P dan S, azimuth gap, dan root mean square. Data waveform gempa bumi dipilih berdasarkan jarak episenter yang dekat, signal-to-noise ratio tinggi, dan tanpa gap data. Metode inversi moment tensor (software ISOLA) digunakan dengan tahapan menyiapkan data (parameter gempa, waveform, metadata, model kecepatan AK135), pra-pemrosesan sinyal (pemotongan, resampling, menghilangkan respon instrumen, filter highpass), penentuan grid, perhitungan Green Function (metode bilangan gelombang diskrit), filter bandpass dan pembobotan, serta inversi kuadrat terkecil. Hasil inversi dievaluasi berdasarkan variance reduction (>0.4) dan condition number (