Path: TopS2-ThesesPhysics2012

STUDI AWAL PENUMBUHAN CNT DENGAN PREKURSOR NANOKATALIS AG DENGAN METODE HWC-VHF-PECVD

INITIAL STUDY OF CNT GROWTH USING NANOCATALYST AG PRECURSOR BY HWC-VHF-PECVD

Master Theses from JBPTITBPP / 2014-02-14 10:30:30
Oleh : AJENG ELIYANA (NIM : 20210016); Tim Pembimbing : Prof. Toto Winata. PhD, Dr.Eng. Yudi Darma, S2 - Physics
Dibuat : 2012, dengan 7 file

Keyword : CNT, Nanokatalis, Evaporasi, HWC-VHF-PECVD, Daya rf

Saat ini carbon nanotube (CNT) merupakan salah satu topik nanoteknologi yang menarik di dunia penelitian karena keunikan dari sifat elektronik dan mekanik yang dimilikinya. Studi awal deposisi lapisan tipis CNT telah dilakukan dengan menumbuhan nanokatalis Perak (Ag) sebagai pemandu proses penumbuhan CNT di atas substrat gelas Corning 7059 dengan metode evaporasi. Penumbuhan dilakukan dengan waktu deposisi yang berbeda-beda yaitu selama 50 detik, 25 detik, dan 14 detik, diikuti proses annealing pada suhu 400 oC selama 4 jam.











































Karakterisasi morfologi nanokatalis Ag dilakukan dengan menggunakan Scanning Electron Microscope (SEM) dan Energy Dispersive Analysis X-ray (EDX). Berkurangnya waktu deposisi evaporasi menyebabkan ukuran diameter nanokatalis Ag yang dihasilkan mengalami penurunan yaitu berturut-turut 65 nm, 57 nm, dan 33 nm. Begitu juga komposisi atomik Ag yang dihasilkan yaitu 6,06%, 4,52 %, dan 3,73 %. Studi selanjutnya yang telah dilakukan adalah











































penumbuhan lapisan tipis CNT di atas substrat nanokatalis Ag dengan metode Hot Wire Cell-Very High Frequency-Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (HWC-VHF-PECVD) pada temperatur deposisi 275 oC dan tekanan 300 mTorr. Daya rf telah divariasikan dari 8 sampai 20 watt, dengan waktu deposisi selama 60 menit. Sumber karbon yang digunakan adalah gas metan (CH4) 99,999 %. Gas hidrogen (H2) digunakan untuk mengetsa lapisan oksida yang mungkin terbentuk selama proses pra-deposisi. Diameter dan panjang CNT di atas Ag/CG 7059 masing-masing 250-393 nm dan 309-376 nm, untuk sebaran partikel yang masih berbentuk bundel. Sedangkan diameter dan panjang untuk partikel yang berbentuk tube (CNT) masing-masing 125 nm dan 1,650-2,989 (mu)m. Pada daya rf 8 dan 10 watt terlihat adanya material CNT tumbuh dengan arah tegak lurus terhadap permukaan substrat dan sejajar permukaan substrat.

Deskripsi Alternatif :

Carbon nanotube (CNT) is one of interesting nanotechnology research topics because of the unique of electronic and mechanical properties. In this research we study CNT deposition by growing silver (Ag) nanocatalyst on the corning glass 7059 substrate as a precursor (guide) by the use of the evaporation method. The nanocatalyst growth was done by varying deposition time for 50 seconds, 25











































seconds, and 14 seconds. The obtained nanocatalyat was then annealed at temperature of 400 oC for 4 hours, and characterized using Scanning Electron Microscope (SEM) and Energy Dispersive X-ray (EDX) methods. The diameter size of nanocatalyst decreased from 65 nm, 57 nm, and 33 nm, and also the silver atomic composition from 6,06%, 4,52%, and 3,73%. The CNT growth have done on the nanocatalyst substrate using the Hot Wire Cell - Very High Frequency - Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (HWC-VHF-PECVD) method at low substrate temperature of 275 oC and pressure of 300 mTorr. The rf power have been varied from 8 to 20 watts, while the deposition time fixed for 60 minutes. The 99.999 % methane gas will be used as a gas source. The H2 gas was also used to etch oxide layers during pre depostion process. The size of diameter and length of CNT on Ag/CG 7059 are 250-393 nm and 309-376, respectively,











































for the particle which is clusters. Meanwhile, for the particle which is tubes has diameter and length 125 nm and 1,650-2,989 (mu)m, respectively. The rf power of 8 and 10 watts have the CNTs is vertically and horizontal shape of surface substrates.

Beri Komentar ?#(0) | Bookmark

PropertiNilai Properti
ID PublisherJBPTITBPP
OrganisasiS
Nama KontakUPT Perpustakaan ITB
AlamatJl. Ganesha 10
KotaBandung
DaerahJawa Barat
NegaraIndonesia
Telepon62-22-2509118, 2500089
Fax62-22-2500089
E-mail Administratordigilib@lib.itb.ac.id
E-mail CKOinfo@lib.itb.ac.id

Print ...

Kontributor...

  • Tim Pembimbing : Prof. Toto Winata. PhD, Dr.Eng. Yudi Darma, Editor: Alice Diniarti

Download...